フラットパネルディスプレイ向け露光装置

LED、LD、パッケージング向け露光装置

フレキシブル基板向けRoll to Roll対応露光装置

Moving UV mask法を用いたMEMS向け露光装置

C-STN、STN、セラミックコンデンサ、サーマルヘッドなどの用途向け露光装置

実験・研究・小ロット生産用

封止装置ESシリーズ

マスクレス露光装置MXシリーズ