エッジセンサ・ギャップセンサを搭載した非接触式のプロキシミティ露光装置です。タッチパネルや有機ELなどの量産に最適です。
主な特長
- タクトタイム約20秒(標準仕様機で、オートアライメント許容値0.5μmに設定の場合。露光時間は除く)のハイスピード露光処理が可能。
- 直読式ギャップセンサーと独自の制御システムにより、マスクと基板の間のプロキシミティギャップを高速･高精度に設定可能。
- 処理部の温度を厳しくコントロールする環境チャンバーを準備。また、熱による基板の伸縮を防止するステージ温調システムも採用可能。
- マスクやガラス基板の温度差による伸縮を防止するために、基板ステージ温度コントロールやマスク冷却システムを選択可能。(オプション)
- 5枚のマスクを収納できるマスクライブラリを搭載可能。
主な仕様
| MA-5501ML | MA-5701ML | MA-5111ML | ||
|---|---|---|---|---|
| 基板サイズ | 370 x 470mm | 550 x 650mm | 730 x 920mm | |
| アライメント | 非接触プリアライメント～オートアライメント可 | |||
| ギャップ | センシング機能あり | |||
| 光源 | 超高圧水銀灯：2kW or 3.5kW or 5kW | 超高圧水銀灯：10kW | 超高圧水銀灯：18kW | |
| 外形寸法および重量 | 本体寸法 | W2400 x D2480 x H2290mm (別に別置ボックス,スポットエアコン,サーキュレータあり) |
W3600 x D3870 x H2500mm (別に別置ボックス,スポットエアコン,サーキュレータあり) |
W7450 x D5000 x H3600mm (別に別置ボックス,スポットエアコン,サーキュレータあり) |
| 本体重量 | 1500kg | 1900kg | 2000kg | |
| 光源重量 | 500kg | 1100kg | 3500kg | |
| クリーンフェンス重量 | 250kg | 300kg | ||
| オプション | マスク冷却、基板ステージ温調、サーマルチャンバー、特殊アライメント照明 | |||
| 用途 | タッチパネル、カラーフィルタ、有機EL、C－STN、電子ペーパーなど | |||
※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様のご相談を受け付けております。
