マスクと基板を縦にすることにより、たわみを少なくした縦型のプロキシミティ露光機です。また水平搬送型の前後処理装置とのインラインにも対応します。

主な特長

  • マスクホルダ／基板ステージを縦に配置。マスク／マスクホルダ／基板ステージの自重たわみ補正が不要になり、シンプルで安定性の良い装置を実現。
  • 新型光学系の採用によって、パターン転写精度に影響を与えるディクリネーション角が従来の半分以下(当社比)になり、より高精度なパターン転写が可能。
  • 本体と光源部を完全分離。光源の熱を本体に伝えない構造で本体部の熱分布が向上。
  • マスクやガラス基板の温度差による伸縮を防止するために、基板ステージ温度コントロールやマスク冷却システムを選択可能。(オプション)
  • 基板サイズは最大1,200mm×1,400mm。しかも独自の光学系による均一な一括露光が可能。
  • 5枚のマスクを収納できるマスクライブラリを搭載可能。
G3_G5基板用縦型プロキシミテ

主な仕様

MA-6701MLMA-6801MLMA-6131ML
基板サイズ550 x 650mm650 x 750mm1100 x 1300mm
マスクサイズ 620 x 720 x t8.0mm 700 x 800 x t8.0mm 1200 x 1400 x t4.8mm
アライメント非接触プリアライメント～オートアライメント可
ギャップ センシング機能あり
光源 超高圧水銀灯：8kW超高圧水銀灯：8kW超高圧水銀灯：18kW
外形寸法および重量 本体寸法W3500 x D2720 x H2700 mm W4150 x D3200 x H2900 mm W11300 x D7060 x H3350 mm
本体重量3500kg 3800kg 12700kg
光源重量800kg 1150kg 4200kg
オプションマスク冷却、基板ステージ温調、サーマルチャンバー、特殊アライメント照明
用途タッチパネル、カラーフィルター、有機EL、C-STN、電子ペーパーなど

※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様のご相談を受け付けております。