コンパクトな設計のマニュアル式一括露光装置です。

主な特長

MA-1200、MA-1400

  • ガラス、ウエハ、フィルム等に対応する実験・研究用マニュアル式一括露光機です。小ロット生産にも最適。
  • コンタクト露光(ソフト・ハード)と、プロキシミティ露光が選択可能。
  • 最大500mm×500mmの基板に対応。用途と基板サイズに合わせて、超高圧水銀灯(500W、1kW、2kW、3.5kW)と、各種ミラー、特殊レンズ、コンデンサーレンズなどを最適に組み合わせた光学系を装備。

MA-1200A

  • 多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光機、安定した自動ギャップ制御が可能。
  • フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。
実験・研究用露光装置

主な仕様

MA-1200、MA-1400

  MA-1200 MA-1400
基板サイズ 最大 200 x 200mm ø4″ ~ ø6″ 最大 400 x 400mm
光源 超高圧水銀灯:500W or 1kW 超高圧水銀灯:2kW or 3.5kW
寸法および重量 本体寸法 W1240 x D1100 x H1725 mm W1440 x D1590 x H1882 mm
本体重量 400kg 400kg(クリーンフェンス含む)
光源重量 250kg
オプション クリーンフェンス、裏面アライメント、ハードコンタクト(真空密着式)、オートアライメント、割れ基板など特殊なワークサイズ対応(要相談)

※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様のご相談を受け付けております。

MA-1200A

  MA-1200A
ウエハサイズ ø2″ ~ ø6″
光源 超高圧水銀灯:500W or 1kW
寸法および重量 本体寸法 W850 x D1150 x H1665 mm
重量 400kg
オプション 裏面アライメント、オートアライメント、割れ基板、バーコードリーダー&LOG保存対応(要相談)

※基板サイズや水銀灯のワット数、UV-LED搭載等、特殊仕様のご相談を受け付けております。