コンパクトな設計のマニュアル式一括露光装置です。
主な特長
MA-1200、MA-1400
- ガラス、ウエハ、フィルム等に対応する実験・研究用マニュアル式一括露光機です。小ロット生産にも最適。
- コンタクト露光(ソフト・ハード)と、プロキシミティ露光が選択可能。
- 最大500mm×500mmの基板に対応。用途と基板サイズに合わせて、超高圧水銀灯(500W、1kW、2kW、3.5kW)と、各種ミラー、特殊レンズ、コンデンサーレンズなどを最適に組み合わせた光学系を装備。
MA-1200A
- 多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光機、安定した自動ギャップ制御が可能。
- フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。
主な仕様
MA-1200、MA-1400
MA-1200 | MA-1400 | ||
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基板サイズ | 最大 200 x 200mm ø4″ ~ ø6″ | 最大 400 x 400mm | |
光源 | 超高圧水銀灯:500W or 1kW | 超高圧水銀灯:2kW or 3.5kW | |
寸法および重量 | 本体寸法 | W1240 x D1100 x H1725 mm | W1440 x D1590 x H1882 mm |
本体重量 | 400kg | 400kg(クリーンフェンス含む) | |
光源重量 | - | 250kg | |
オプション | クリーンフェンス、裏面アライメント、ハードコンタクト(真空密着式)、オートアライメント、割れ基板など特殊なワークサイズ対応(要相談) |
※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様のご相談を受け付けております。
MA-1200A
MA-1200A | ||
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ウエハサイズ | ø2″ ~ ø6″ | |
光源 | 超高圧水銀灯:500W or 1kW | |
寸法および重量 | 本体寸法 | W850 x D1150 x H1665 mm |
重量 | 400kg | |
オプション | 裏面アライメント、オートアライメント、割れ基板、バーコードリーダー&LOG保存対応(要相談) |
※基板サイズや水銀灯のワット数、UV-LED搭載等、特殊仕様のご相談を受け付けております。