理想的な平行光

当社の光学技術の最大の特徴

  • 大型ミラー光学系を駆使した平行光による大面積照射
  • 独自の光学設計を駆使した光学系レイアウト
  • 独自のレンズ光学系による高照度均一照射

これらを実現するために、

  • 高出力超高圧水銀灯（UV-LEDにも対応可能）
  • 独自の設計・製造方法（特許取得）によるフライアイレンズ
  • 高反射率ミラー

などの開発・研究に取り組んでいます。


これらの先進的・独創的な技術が、大面積照射・均一照射・高照度を可能にし、露光転写精度の向上につながっています。