主な特長
- 実験・研究用途に最適。
- デスク上に設置可能なコンパクト設計(600×600mm)。
- UVLEDランプハウス標準搭載（有効露光範囲Ø4″）。
- コンタクト露光タイプ（オプションで他の露光モード対応可）。
- 完全手動操作でリーズナブルな価格。
主な仕様
| DA-1000 | |
|---|---|
| Wafer Size | Ø2″ , Ø3″ and max. Ø4″ |
| Mask Size | 5″ x 5″ |
| Alignment Scope | 8 倍 |
| Lamp House | UVLED (365 nm or 405 nm) |
| Illumination Intensity | Max. 14 mW /㎠ (365 nm) or Max. 20 mW /㎠ (405 nm) |
