フォトレジストが塗布された基板をマスクに重ね合わせ、パターンを焼付けする露光装置です。 主な特長 基板の全面一括露光が可能な自動プロキシミティ露光システム。液晶、セラミックコンデンサ、サーマルヘッドなど、ご要望に合わせた装置構成が可能。オートアライメント機能付き。(MA-4000) MA-2000～4000シリーズ
