実験・研究・小ロット生産用
LED、LD、パッケージング向け露光装置
Ø200mm Ø300mm対応露光装置
マスクレス露光装置MXシリーズ
Moving UV mask法を用いたMEMS向け露光装置
フレキシブル基板向けRoll to Roll対応露光装置
フラットパネルディスプレイ向け露光装置
液晶、セラミックコンデンサ、サーマルヘッドなどの用途向け露光装置
封止装置ESシリーズ
デスク上に設置可能なコンパクト設計
寸法検査・精度検査
※平面度・平行度・真円度・同軸度 etc…
