マスクレス露光機は、米国テキサスインスツルメンツ社製のディジタル・マイクロミラー・デバイス（DMD)にて露光パターンを生成するので、マスクが不要です。
マスクを製作しない分だけ、コスト削減と露光までの時間短縮が可能です。少量多品種の生産や研究・開発用途でも力を発揮します。
ポイントアレイ方式
マイクロレンズ・アレイの採用により、DMDの各ピクセルからの光を点に集光します。
さらに光の点群を斜めに配置してスキャンすることで、露光フィールドのサイズを犠牲にすることなく、DMDのピクセルサイズより遙かに小さなデータ分解能を達成します。
例えば、光学倍率５：１の時に0.05umデータ分解能が可能
70万本の光ビームによる高速描画
- 独自開発のデータ発生回路（DGB)を持ち、約70万本の光ビームのそれぞれを1秒間に3万回もオン・オフが可能。これにより高速描画を実現します。
- 例えば、600mm長の基板を7秒でスキャン（データ分解能1um時）
斜め線、曲線にも強い
小さな点の集まりで露光される「ポイントアレイ方式」は、斜め線や曲線のエッジもなめらか。
マスク露光と遜色ない形状を提供します。
スキャン間の継ぎ目が見えない
「ポイントアレイ方式」では、スキャンとスキャンの継ぎ目は左右のスキャンが半分ずつ分担。データの表示位置を電気的に調整する機能とあいまって、継ぎ目が目立ちません。
ソフト・アライメント可。倍率誤差も補正 リアルタイム・データ変換「i2B」
- 独自開発した高速のリアルタイム・データ変換ソフトウェアを用いて、機械式ステージによらず、データの表示位置でのアライメント（ソフト・アライメント）が可能。
- 倍率補正も四辺形（矩形でなく任意の四角形）補正が可能。
データのみならず、露光そのものを再現 インテリジェント・マスク｢ｉ-mask」
- 独自のデータ・フォーマット「i-mask」を持ちます。「i-mask」は露光データのみならず、露光機を制御するためのすべての情報を保持しているので、これさえあれば、全く同じ露光を再現できます。
- お手持ちの設計データを「i-mask」に変換するツールを用意
※設計データの標準はGerber データです。
