タッチパネル、電子ペーパー、光学フィルム(3D他)、有機EL用マスクなどフィルム形状のワークに対応した露光装置です。Roll to Rollにも対応した、フレキシブルで薄く・軽量なデバイスの大量生産を実現します。
主な特長
- プロキシミティ露光だけでなくコンタクト露光（ソフト・ハード）にも対応可能。
- 幅500mm以上の大型フィルムなどにも対応可能。
- 独自の光学系により、片面露光・両面露光の選択が可能。一灯式による両面露光も実現。
- オートアライメント搭載。特殊照明により透明材料などのアライメントを実現。
- Roll to Rollだけではなく枚葉式搬送など、ご要望に合わせた装置構成が可能。
- 基板ステージ温度制御やマスク冷却仕様等を選択可能。(オプション)
主な用途
- タッチパネル、電子ペーパー、光学フィルム(3D他)、有機EL、リチウムイオン電池、太陽電池、プリント配線板
