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タッチパネル、有機EL、カラーフィルタ、STN液晶向け全自動プロキシミティ露光機
PDP向け縦型全自動プロキシミティ露光機
タッチパネル、有機EL、カラーフィルタ、STN液晶向け縦型全自動プロキシミティ露光機

化合物半導体用露光装置(マスクアライナ)

LED、LD、パッケージング向け露光装置

φ300mm対応露光装置

φ300mm対応露光装置

その他量産用露光装置

C-STN、STN、セラミックコンデンサ、サーマルヘッドなどの用途向け露光装置

実験・研究用露光装置

実験・研究・小ロット生産用

フィルム用露光装置

フレキシブル基板向けRoll to Roll対応露光装置

MEMS用露光装置

Moving UV mask法を用いたMEMS向け露光装置

有機EL基板用封止装置

封止装置ESシリーズ

マスクレス露光装置

マスクレス露光装置MXシリーズ

超広帯域空間光位相変調器 (UV-NIR SLM)

超広帯域空間光位相変調器

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