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フィルム用露光装置

タッチパネル、電子ペーパー、光学フィルム(3D他)、有機ELなどフィルム形状のワークに対応した露光装置です。Roll to Rollにも対応した、フレキシブルで薄く・軽量なデバイスの大量生産を実現します。

主な特長
  • プロキシミティ露光だけでなくコンタクト露光(ソフト・ハード)にも対応可能。
  • 幅500mm以上の大型フィルムなどにも対応可能。
  • 独自の光学系により、片面露光・両面露光の選択が可能。一灯式による両面露光も実現。
  • オートアライメント搭載。特殊照明により透明材料などのアライメントを実現。
  • Roll to Rollだけではなく枚葉式搬送など、ご要望に合わせた装置構成が可能。
  • 基板ステージ温度制御やマスク冷却仕様等を選択可能。(オプション)
主な用途
  • タッチパネル、電子ペーパー、光学フィルム(3D他)、有機EL、リチウムイオン電池、太陽電池、プリント配線板
 
 

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