主な特長

  • 自社開発のミラー光学系ランプハウスを搭載、照射面内均一性、高照度を実現
  • 独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現。I R方式や裏面方式にも対応
  • 独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定
  • マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換
  • ロードポートを最大３基搭載可能
300mm対応露光装置

主な仕様

MA-5301ML
ウェハサイズØ300ｍｍ
アライメント非接触プリアライメント～オートアライメント可
光源超高圧水銀灯：3.5kW
本体寸法W 2450 × D 2400 × H 2300 mm
オプションØ200mm仕様も対応可能

※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様ご相談を受け付けております。