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φ300mm対応露光装置主な特長
  • 自社開発のミラー光学系ランプハウスを搭載、照射面内均一性、高照度を実現
  • 独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現。I R方式や裏面方式にも対応
  • 独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定
  • マスクチェンジャを搭載。最大2 0枚のフォトマスクを自動交換
  • ロードポートを最大3基搭載可能
MA-5301ML
主な仕様
  MA-5301ML
ウェハサイズ Ø300mm
アライメント 非接触プリアライメント~オートアライメント可
光源 超高圧水銀灯:3.5kW
本体寸法 W 2450 × D 2400 × H 2300 mm
オプション Ø200mm仕様も対応可能

※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様ご相談を受け付けております。

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