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その他量産用露光装置

フォトレジストが塗布された基板をマスクに重ね合わせ、パターンを焼付けする露光装置です。

主な特長
  • 基板の全面一括露光が可能な自動プロキシミティ露光システム。
  • C-STN、STN、セラミックコンデンサ、サーマルヘッドなど、ご要望に合わせた装置構成が可能。
  • オートアライメント機能付き。(MA-4000)
化合物半導体用露光装置

MA-2000~4000シリーズ

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