フォトレジストが塗布された基板をマスクに重ね合わせ、パターンを焼付けする露光装置です。

主な特長

  • 基板の全面一括露光が可能な自動プロキシミティ露光システム。
  • 液晶、セラミックコンデンサ、サーマルヘッドなど、ご要望に合わせた装置構成が可能。
  • オートアライメント機能付き。(MA-4000)
その他量産用露光装置

MA-2000~4000シリーズ