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有機EL基板用封止装置

有機EL照明や有機ELディスプレイ封止プロセスにおけるキャップガラス対応の封止装置です。
ローダからアンローダまで自動搬送し、各ユニット内部の雰囲気はH2O、O2共に1PPM以下の最適なチャンバー内部環境を実現致します。
処理プロセスは、主にキャップガラスクリーニング、シール剤・充填剤の塗布、蒸着基板とキャップガラスの貼り合わせ(封止)を行います。
他社蒸着装置とインラインする事で成膜から封止まで連続生産が可能となります。

主な特長
  • 蒸着基板とキャップガラスの貼り合わせ工程では、露光装置で培ったアライメント技術、平行補正技術、位置制御技術を採用。(応用展開)
  • クラスタ型のユニット設計思想により、メンテナンス等による環境変化を極力抑える事が可能。
  • お客様にて取り扱いの、キャップガラス、シール剤・充填剤等に応じたシステム構成が可能。
  • 装置内部をH2O、O2共に1PPM以下の雰囲気にする事により、有機EL照明や有機ELディスプレイ生産に適した環境を実現。

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