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その他量産用露光装置

コンパクトな設計のマニュアル式一括露光装置です。

主な特長
  • ガラス、ウエハ、フィルム等に対応する実験・研究用マニュアル式一括露光機です。小ロット生産にも最適。
  • コンタクト露光(ソフト・ハード)と、プロキシミティ露光が選択可能。
  • 最大500mm×500mmの基板に対応。用途と基板サイズに合わせて、超高圧水銀灯(500W、1kW、2kW、3.5kW)と、各種ミラー、特殊レンズ、コンデンサーレンズなどを最適に組み合わせた光学系を装備。
実験・研究用露光装置
主な仕様
  MA-1200 MA-1400
基板サイズ 最大 200 x 200mm
ø4" ~ ø6"
最大 400 x 400mm
光源 超高圧水銀灯:500W or 1kW 超高圧水銀灯:2kW or 3.5kW
寸法および重量 本体寸法 W1240 x D1100 x H1725 mm W1440 x D1590 x H1882 mm
本体重量 400kg 400kg(クリーンフェンス含む)
光源重量 250kg
オプション クリーンフェンス、裏面アライメント、ハードコンタクト(真空密着式)、オートアライメント、割れ基板など特殊なワークサイズ対応(要相談)

※基板サイズや水銀灯のワット数、特殊仕様のご相談を受け付けております。

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